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发布日期:2024-04-26 05:15 点击次数:138(原标题:华工科技(000988.SZ):华工激光自主研制的第三代半导体晶圆激光切割装备已完成测试)
格隆汇4月3日丨华工科技(000988.SZ)于4月2日召开功绩施展会,就“公司在碳化硅方面的本领和居品储备?”,公司恢复称,碳化硅行动一种新式的宽禁带半导体材料,功率密度和后果上风显着,在电动汽车、光伏等新动力领域的诳骗快速增长。华工激光自主研制的第三代半导体晶圆激光切割装备已完成测试,现在开拓的居品遮蔽化合物半导体前说念和后说念制程,包括碳化硅衬底外不雅劣势检测,晶圆激光标刻装备、晶圆激光退火装备,晶圆激光表切装备、晶圆激光隐切装备,和碳化硅晶圆要害尺寸测量诞生。
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